短通道效應(英語:short-channel effects)是當金屬氧化物半導體場效應管的導電溝道長度降低到十幾納米、甚至幾納米量級時,電晶體出現的一些效應。這些效應主要包括閾值電壓隨著溝道長度降低而降低、漏致勢壘降低英語Drain-induced barrier lowering、載流子表面散射、速度飽和英語Saturation velocity、離子化和熱電子效應[4][5]

「短通道效應」的各地常用名稱
中國大陸短溝道效應
臺灣短通道效應[1][2][3]

參考文獻

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引用
  1. ^ Chapter 2 奈米金氧半電晶體2.1 簡介 - Advanced Silicon .... 國立臺灣大學電機工程學系. [2015-03-02]. (原始內容存檔於2015-04-02). 
  2. ^ 施敏 2008.
  3. ^ 施敏 2009.
  4. ^ Advanced MOSFET issues. University of Colorado. [2015-03-01]. (原始內容存檔於2012-06-15). 
  5. ^ Brian Winstead; Umberto Ravaioli , Senior Member, IEEE. Simulation of Schottky Barrier MOSFET’s with a Coupled Quantum Injection/Monte Carlo Technique (pdf). IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, VOL. 47, NO. 6,. uiuc: p.1241. JUNE 2000 (英語). 
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