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File:Spacer Patterning.JPG

Spacer_Patterning.JPG （393 × 576 像素，檔案大小：19 KB，MIME 類型：image/jpeg）

摘要

描述
English: Spacer patterning:
  • First pattern
  • Deposition of mask material
  • Etching to form sidewall spacers
  • Removal of first pattern
  • Etching using remaining spacers as mask
  • Removal of spacers, leaving final pattern
日期
來源 自己的作品 (原始说明文字： "
Own work
")
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作者 Guiding light at en.wikipedia
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原始上傳日誌

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  • 2008-03-08 14:07 Guiding light 393×576× (19013 bytes) Spacer patterning: * First pattern * Deposition of mask material * Etching to form sidewall spacers * Removal of first pattern * Etching using remaining spacers as mask * Removal of spacers, leaving final pattern

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目前2011年11月6日 (日) 13:16於 2011年11月6日 (日) 13:16 版本的縮圖393 × 576（19 KB）File Upload Bot (Magnus Manske) {{BotMoveToCommons|en.wikipedia|year={{subst:CURRENTYEAR}}|month={{subst:CURRENTMONTHNAME}}|day={{subst:CURRENTDAY}}}} {{Information |Description={{en|Spacer patterning: * First pattern * Deposition of mask material * Etching to form sidewall spacers * R

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