等离子渗氮

等离子渗氮也称离子渗氮、辉光渗氮，是一种利用等离子技术对烧结材料、各类钢^[1]、钛、铝等金属进行表面硬化的方法，属于渗氮工艺的一种^[2]。以炉体为阳极，工件为阴极，加上几百伏直流电压，氮气和氢气的气体分子被离子化，产生辉光放电。正电荷对工件表面的轰击作用加速，将工件加热到氮化温度（350°C – 600°C）。氮离子在钢件表面得到电子，还原为氮原子，渗入钢件表面并向内扩散，产生Fe-N固溶体和氮化物扩散层，可显著提高不锈钢材料的耐磨和耐腐蚀性能^[3]。此过程处理是通过扩散而不是涂层^[4]，应用PVD和PECVD（英语：Plasma-enhanced chemical vapor deposition）涂层混合技术，可更好的控制氮化层特性^[5]。

参考文献

^ 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. （原始内容存档 (PDF)于2021-06-24）.
^ 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-27）.
^ 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中国科学院等离子体物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-24）.
^ IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-28）.
^ 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-24）.

[1] 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. （原始内容存档 (PDF)于2021-06-24）.

[2] 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-27）.

[3] 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中国科学院等离子体物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-24）.

[4] IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-28）.

[5] 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22]. （原始内容存档于2021-06-24）.

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