電漿滲氮

電漿滲氮也稱離子滲氮、輝光滲氮，是一種利用電漿技術對燒結材料、各類鋼^[1]、鈦、鋁等金屬進行表面硬化的方法，屬於滲氮工藝的一種^[2]。以爐體為陽極，工件為陰極，加上幾百伏直流電壓，氮氣和氫氣的氣體分子被離子化，產生輝光放電。正電荷對工件表面的轟擊作用加速，將工件加熱到氮化溫度（350°C – 600°C）。氮離子在鋼件表面得到電子，還原為氮原子，滲入鋼件表面並向內擴散，產生Fe-N固溶體和氮化物擴散層，可顯著提高不鏽鋼材料的耐磨和耐腐蝕性能^[3]。此過程處理是通過擴散而不是塗層^[4]，應用PVD和PECVD（英語：Plasma-enhanced chemical vapor deposition）塗層混合技術，可更好的控制氮化層特性^[5]。

參考文獻

^ 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. （原始內容存檔 (PDF)於2021-06-24）.
^ 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-27）.
^ 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中國科學院電漿體物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-24）.
^ IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-28）.
^ 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-24）.

[1] 典型的等离子渗氮结果 (PDF). Rubig. [2021-06-22]. （原始內容存檔 (PDF)於2021-06-24）.

[2] 等离子渗氮. diener. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-27）.

[3] 等离子体所在大气压等离子体渗氮技术研究中取得新进展. 中國科學院電漿體物理研究所. 2020-08-19 [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-24）.

[4] IONIT. Oerlikon. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-28）.

[5] 等离子渗氮机. PD2i. [2021-06-22]. （原始內容存檔於2021-06-24）.

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