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硅-氯化合物
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氯
氯硅烷
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三
三氟氯硅烷
三甲基氯硅烷
三苯基氯硅烷
二
二氟二氯硅烷
二甲基二氯硅烷
四
四氯化硅
氟
氟三氯硅烷
氟氯溴碘化硅