氟硅酸鹽，又稱六氟合硅酸鹽，是氟硅酸和陽離子形成的鹽，它們受熱易分解，且大部分可溶於水（鋇、鉀、鈉、鈰鹽的溶解性較差）。[1]
氟硅酸鹽可由氟硅酸和金屬或其碳酸鹽反應製備：[2]
- Fe + H2SiF6 → FeSiF6 + H2↑
- ^ 塞德布羅門(著) ,余大猷(譯). 無機化合物的性質表解. 商務印書館, 1957. pp 210
- ^ TE Jenkins, J Lewis. A Raman investigation of some metal (II) hexafluorosilicate (IV) and hexafluorotitanate (IV) salts. Spectrochimica Acta Part A: Molecular Spectroscopy. 1981, 37(1):47-50
