電子微探針

電子微探針（英語：Electron microprobe，縮寫 EMP），也被稱為電子探針顯微分析（electron probe microanalyzer，EPMA）或電子微探針分析儀（electron micro probe analyzer，EMPA），是一種用於無損檢定少量固體材料元素成分的分析工具。它是用聚焦很細、直徑小於1um的電子束轟擊待測試樣上的微小區域，對激發出的特徵X射線、二次電子、二次離子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子、陰極熒光等進行探測和信息處理的現代儀器分析方法，是電子光學技術與X射線光譜分析技術交匯的產物。