分類:表面分析技術

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表面分析技術係指測量時,能控制訊號來自材料之表面淺層的一種分析技術。常見的方法多以測量來自表面的光子電子離子訊號。一般來說,光子以掠角(Grazing-incident angle)入射進入材料表面時,可取得僅來自表面淺層之訊號。電子與離子訊息則因能逃脫出材料的,皆來自淺層表面,因而其探測深度分別約為數(與電子能量有關)與表面一至二層原子深度。

另見材料科學


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