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硅-氟化合物
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三
三氟氯硅烷
三氟硅烷
三甲基氟硅烷
二
二氟二氯硅烷
二甲基叔丁基氟硅烷
四
四氟化硅
氟
氟三氯硅烷
氟氯溴碘化硅