真空回流爐,也叫真空焊接爐。在真空的環境下對產品進行高質量的焊接,在升溫或者降溫過程中通入還原性系統(N2甲酸、N2H2、H2),用以保護產品和焊料不被氧化,同時將產品和焊料表面的氧化物反應,使得焊接表面質量提高,減小了焊接的空洞率。 

真空回流爐包括以下幾個結構:氣路、冷卻系統、加熱系統、真空系統、測量系統:  

  1. 氣路:N2有三路:一路通到工藝腔體;一路作為氣冷通入冷卻管(和水冷一個管道);一路通到真空泵gas ballast,作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路,通到腔體內。H2Ar有一路,通道腔體內。   
  2. 冷卻系統:分為內循環和外循環 內循環:設備內部有個水箱,內裝有DI water,通過水泵將水箱裡面誰進行循環,用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環:客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。   
  3. 加熱系統:包括主加熱和邊緣加熱。
  4. 真空系統:真空泵抽真空流程:將腔體內部氣體——主閥——真空泵——管道(通過加熱絲)——排風裡面。 真空部分有個過壓閥,腔體壓力過大時會自動打開。   
  5. 測量系統:除了控制加熱的TC之外,設備腔體內部還有6組用於測量工件溫度的TC。便於實驗所需要。