藍寶石上的矽(英語:silicon on sapphire, SOS)是積體電路製造製程中的一種異質磊晶技術,它將一層較薄(通常小於0.6微米)的生長在藍寶石(主要成分為氧化鋁晶圓上。SOS技術是CMOS技術中SOISilicon On Insulator, SOI,絕緣體上的矽)的一部分。

參考文獻

編輯
  • 楊樹人,王宗昌,王兢. 半导体材料(第2版). 科學出版社. 2004. ISBN 7-03-012817-6.