纳米晶硅(nc-Si)非晶硅(a-Si)一样是的一种同素异形体。和非晶硅的区别在于,纳米晶硅具有小的无定形态的硅晶粒。相比之下,多晶硅完全由晶界相隔的硅晶体颗粒构成。纳米晶硅有时也被称为微晶硅(µc-Si)。差别只在于晶粒的颗粒大小。大部分颗粒大小在微米量级的材料实际上是精细颗粒多晶硅,所以纳米晶硅是一个更好的词。

左边是一般的硅,右边则是纳米态的硅

由于纳米晶硅能够更好地吸收红波和红外波,它可以用制作硅太陽能電池