草酰氟

化合物

草酰氟草酸的氟代衍生物,为平面分子[1]。它在刻蚀有着潜在应用,以替代有全球暖化潜势的化合物使用。[2][3]

草酰氟
Structural formula of oxalyl fluoride
Ball-and-stick model of oxalyl fluoride
IUPAC名
Oxalyl difluoride
别名 乙二酰氟
识别
CAS号 359-40-0  checkY
PubChem 9668
ChemSpider 9287
SMILES
 
  • C(=O)(C(=O)F)F
InChI
 
  • 1/C2F2O2/c3-1(5)2(4)6
EINECS 206-630-4
性质
化学式 C2F2O2
摩尔质量 94.017 g·mol⁻¹
熔点 -3 °C(270 K)
沸点 26.6 °C(300 K)
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。

参见

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参考文献

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  1. ^ 王冬梅, 耿志远. 草酰氟分子(FCO)2的量子化学研究[J]. 宝鸡文理学院学报(自科版), 2007, 27(1):49-53.
  2. ^ Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds页面存档备份,存于互联网档案馆), US Patent 6635185.
  3. ^ Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc. Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool. J. Electrochem. Soc. 2001, 148 (3): G141–G149. doi:10.1149/1.1348263.