3纳米制程
历史
编辑国际装置与系统发展路线图（IRDS）在2017年曾预计3奈米制程将在2024年量产[2]。
2017年9月29日，台积电宣布未来3奈米（nm）制程晶圆厂，落脚台湾台南市的南部科学工业园区，预计最快2022年量产[3]。台积电于2020年第一季宣布3奈米制程将在2021年试产，并在2022下半年正式量产，其3奈米制程继续采用FinFET（鳍式场效电晶体）[4]。
2019年5月，三星表示其3奈米产品预计于2021年推出[5]。此后由于受到2019冠状病毒病疫情影响，三星的3奈米制程推出时程被延后到了2022年[6]。
Intel在2019年泄漏的路线图显示，其3奈米制程预计在2025年推出[7]。节点改名的Intel 3预计2024年推出。
2022年7月25日，三星宣布推出首款3奈米制程晶片，采用GAA FET（闸极全环场效电晶体）技术[8]
2023年9月15日，苹果公司发布新一代iPhone 15系列手机，其中iPhone 15 Pro以上系列搭载的A17 Pro处理器由台积电3奈米工艺代工制造，成为全球首款量产的3奈米工艺处理器晶片。
3奈米的继承者为2奈米。
参考资料
编辑- ^ High-NA EUV是什麼？新一代極紫外光EUV，為何台積電、英特爾都想要？. www.bnext.com.tw. [2024-09-15] （中文（台湾））.
- ^ IRDS international roadmap for devices and systems 2017 edition (PDF). （原始内容 (PDF)存档于2018-10-25）.
- ^ 3 奈米製程，可能是終極技術. [2019-02-09]. （原始内容存档于2019-12-03）.
- ^ Atkinson. 台積電 3 奈米製程電晶體數約 2.5 億個，2022 下半年量產. 科技新报. TechNews. 2020-04-20 [2020-05-16]. （原始内容存档于2020-10-04） （中文（台湾））.
- ^ Vanessa. INTEL 10nm還沒量產 SAMSUNG 3nm就要來了. XFastest News. [2019-07-11]. （原始内容存档于2019-07-11） （中文（台湾））.
- ^ 凌郁涵. 三星3奈米明年量產告吹？疫情衝擊恐再延一年. 钜亨网. 2020-04-07 [2020-05-16]. （原始内容存档于2020-09-27） （中文（台湾））.
- ^ 處理器 - Intel 新線路圖兩年升級一次製程, 2029年迎來1.4nm. 沧者极限. [2019-12-12]. （原始内容存档于2019-12-12） （中文（台湾））.
- ^ 搶先台積電 三星全球首款3奈米晶片亮相. 自由时报. 2022-07-25 [2022-07-27]. （原始内容存档于2022-07-29） （中文（台湾））.
| 先前 5纳米制程 |
半导体器件制造制程 | 其后 2纳米制程 |