3纳米制程半导体制造制程的一个水准,此技术必须使用EUV进行生产。甚至是高数值孔径极紫外光。[1]

历史

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国际装置与系统发展路线图(IRDS)在2017年曾预计3纳米制程将在2024年量产[2]

2017年9月29日,台积电宣布未来3纳米(nm)制程晶圆厂,落脚台湾台南市南部科学工业园区,预计最快2022年量产[3]台积电于2020年第一季宣布3纳米制程将在2021年试产,并在2022下半年正式量产,其3纳米制程继续采用FinFET(鳍式场效晶体管)[4]

2019年5月,三星表示其3纳米产品预计于2021年推出[5]。此后由于受到2019冠状病毒病疫情影响,三星的3纳米制程推出时程被延后到了2022年[6]

Intel在2019年泄漏的路线图显示,其3纳米制程预计在2025年推出[7]。节点改名的Intel 3预计2024年推出。

2022年7月25日,三星宣布推出首款3纳米制程芯片,采用GAA FET(闸极全环场效晶体管)技术[8]

2023年9月15日,苹果公司发布新一代iPhone 15系列手机,其中iPhone 15 Pro以上系列搭载的A17 Pro处理器由台积电3纳米工艺代工制造,成为全球首款量产的3纳米工艺处理器芯片。

3纳米的继承者为2纳米。

参考资料

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  1. ^ High-NA EUV是什麼?新一代極紫外光EUV,為何台積電、英特爾都想要?. www.bnext.com.tw. [2024-09-15] (中文(台湾)). 
  2. ^ IRDS international roadmap for devices and systems 2017 edition (PDF). (原始内容 (PDF)存档于2018-10-25). 
  3. ^ 3 奈米製程,可能是終極技術. [2019-02-09]. (原始内容存档于2019-12-03). 
  4. ^ Atkinson. 台積電 3 奈米製程電晶體數約 2.5 億個,2022 下半年量產. 科技新报. TechNews. 2020-04-20 [2020-05-16]. (原始内容存档于2020-10-04) (中文(台湾)). 
  5. ^ Vanessa. INTEL 10nm還沒量產 SAMSUNG 3nm就要來了. XFastest News. [2019-07-11]. (原始内容存档于2019-07-11) (中文(台湾)). 
  6. ^ 凌郁涵. 三星3奈米明年量產告吹?疫情衝擊恐再延一年. 钜亨网. 2020-04-07 [2020-05-16]. (原始内容存档于2020-09-27) (中文(台湾)). 
  7. ^ 處理器 - Intel 新線路圖兩年升級一次製程, 2029年迎來1.4nm. 沧者极限. [2019-12-12]. (原始内容存档于2019-12-12) (中文(台湾)). 
  8. ^ 搶先台積電 三星全球首款3奈米晶片亮相. 自由时报. 2022-07-25 [2022-07-27]. (原始内容存档于2022-07-29) (中文(台湾)). 
先前
5纳米制程
半导体器件制造制程 其后
2纳米制程