二次電子(Secondary electrons),又稱次級電子,是描述物體表面被一主要輻射照射後,發射出的低能量產物電子。該主要輻射可以是具有足夠能量離子電子或是光子。二次電子屬於二次發射英語secondary emission的一種。

原理

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低能量電子的平均自由徑

電子固體裡的非彈性平均自由徑(inelastic mean free path) 通常是具有普遍性,也就是說無關於甚麼材料[1]。這個距離對金屬來說,通常是在幾奈米內;對絕緣體來說,在十幾奈米內,一般來說距離越小測量精度越高[2][3]。而對低能量的電子(< 5eV)來說,則有更長的平均自由徑

應用

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二次電子的原理被應用在電子倍增管光電倍增管微通道板法拉第杯戴利偵測器等偵測元件,也用在掃描電子顯微鏡

另見

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參考文獻

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  1. ^ Zangwill, A., Physics At Surfaces, Cambridge University Press: p21, 1988 
  2. ^ Seiler, H. Secondary electron emission in the scanning electron microscope. Journal of Applied Physics. 1983-11, 54 (11): R1–R18. doi:10.1063/1.332840. 
  3. ^ Cazaux, Jacques. Some considerations on the secondary electron emission, δ, from e− irradiated insulators. Journal of Applied Physics. 1999-01-15, 85 (2): 1137–1147. doi:10.1063/1.369239.