二次電子
二次電子(Secondary electrons),又称次级电子,是描述物體表面被一主要輻射照射後,發射出的低能量產物電子。该主要輻射可以是具有足夠能量的離子、電子或是光子。二次電子屬於二次發射的一種。
原理
编辑電子在固體裡的非彈性平均自由徑(inelastic mean free path) 通常是具有普遍性,也就是說無關於甚麼材料[1]。這個距離對金屬來說,通常是在幾奈米內;對絕緣體來說,在十幾奈米內,一般来说距离越小测量精度越高[2][3]。而對低能量的電子(< 5eV)來說,則有更長的平均自由徑。
應用
编辑另见
编辑參考文獻
编辑- ^ Zangwill, A., Physics At Surfaces, Cambridge University Press: p21, 1988
- ^ Seiler, H. Secondary electron emission in the scanning electron microscope. Journal of Applied Physics. 1983-11, 54 (11): R1–R18. doi:10.1063/1.332840.
- ^ Cazaux, Jacques. Some considerations on the secondary electron emission, δ, from e− irradiated insulators. Journal of Applied Physics. 1999-01-15, 85 (2): 1137–1147. doi:10.1063/1.369239.