盧瑟福背散射分析或盧瑟福背散射譜學（Rutherford Backscattering Spectrometry，RBS），有時候被稱為高能離子散射譜學（High-Energy Ion Scattering，HEIS），是一種離子束分析技術，被用在材料科學中，用以分析、測量材料的結構和組成。通過將一束確定能量的高能離子束（通常是質子或α粒子）打到待分析材料上，檢測背向反射的離子的能量，即可確定靶原子的種類、濃度和深度分布。
盧瑟福背散射分析的基本原理詳見盧瑟福散射。
