盧瑟福背散射

盧瑟福背散射分析盧瑟福背散射譜學Rutherford Backscattering Spectrometry,RBS),有時候被稱為高能離子散射譜學(High-Energy Ion Scattering,HEIS),是一種離子束分析技術,被用在材料科學中,用以分析、測量材料的結構和組成。通過將一束確定能量的高能離子束(通常是質子α粒子)打到待分析材料上,檢測背向反射的離子的能量,即可確定靶原子的種類、濃度和深度分布。

盧瑟福背散射分析的基本原理詳見盧瑟福散射

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