六氟乙烷

六氟乙烷
骨架式	3D模型
	IUPAC名; Hexafluoroethane; 六氟乙烷
	系統名; 六氟乙烷
別名	六氟化碳 ; 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 ; 全氟乙烷 ; 鹵碳 116 ; PFC-116 ; CFC-116 ; R-116 ; Arcton 116 ; Halon 2600 ; UN 2193
識別
CAS號	76-16-4 ?
PubChem	6431
SMILES	C(C(F)(F)F)(F)(F)F;
InChI	1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8;
EINECS	200-939-8
ChEBI	32905
RTECS	KI4110000
性質
化學式	C2F6
摩爾質量	138.01 g·mol⁻¹
外觀	無色無嗅氣體
密度	5.734 kg.m-3，24 °C
熔點	-100.6 °C
沸點	-78.2 °C
溶解性（水）	0.0015%
log P	2
蒸氣壓	2.967 MPa，20.1 °C ; 3.0701 MPa，21 °C
危險性
NFPA 704	0 1 0
閃點	不易燃
	若非註明，所有數據均出自標準狀態（25 ℃，100 kPa）下。

六氟乙烷，是一種鹵代烴（化學式：C₂F₆），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶於水，微溶於醇。

物理性質

六氟乙烷在固相時擁有兩種晶型，不同相變溫度已於科學文獻中列明，最新的文獻將相變溫度定於103 K(-170 °C)。在低於103 K的情況下，它會有一個稍微無序的結構，在相變點以上，會形成體心立方晶體結構。^[1]

六氟乙烷密度表：

性質，溫度	密度 (kg.m^-3)
液態，-78.2 °C	1608
氣態，-78.2 °C	8.86
氣態，15 °C	5.84
氣態，20.1 °C	5.716
氣態，24 °C	5.734

六氟乙烷蒸氣相對空氣的密度為4.823，21°C時比重為4.773（空氣是1），比容為0.1748 m³/kg。

用途

六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術，常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用於蝕刻矽上的二氧化硅。

六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用於製冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。

環境影響

六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定，可以長時間停留在大氣層中，是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年，全球暖化潛勢是9,200（二氧化碳的係數是1）。它在大氣層的濃度是 3 pptv（在1750年時是 0 pptv^[2]）。然而，六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。

六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。

六氟乙烷的工業排放主要在以霍爾電解法生產鋁的過程中產生。

安全

六氟乙烷的相對密度比較高，可以填滿地面空間範圍，高濃度時會導致窒息。其他健康影響與四氟甲烷相似。

參見

參考資料及注釋

註釋

^ Dynamics and structure of solid hexafluoroethane
^ Climate Change 2001: The Scientific Basis. [2011-06-16]. （原始內容存檔於2007-06-15）.

一般參考

Bozin S E; et al. Growth of ionization currents in carbon tetrafluoride and hexafluoroethane. J. Phys. D: Appl. Phys. 1968, 1: 327–334. doi:10.1088/0022-3727/1/3/309.

外部連結

[1] Dynamics and structure of solid hexafluoroethane

[2] Climate Change 2001: The Scientific Basis. [2011-06-16]. （原始內容存檔於2007-06-15）.

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