六氟乙烷
六氟乙烷,是一種鹵代烴(化學式:C2F6),亦是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,难溶於水,微溶於醇。
六氟乙烷 | |||
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IUPAC名 Hexafluoroethane 六氟乙烷 | |||
系统名 六氟乙烷 | |||
别名 | 六氟化碳 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 全氟乙烷 鹵碳 116 PFC-116 CFC-116 R-116 Arcton 116 Halon 2600 UN 2193 | ||
识别 | |||
CAS号 | 76-16-4 ? | ||
PubChem | 6431 | ||
SMILES |
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InChI |
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EINECS | 200-939-8 | ||
ChEBI | 32905 | ||
RTECS | KI4110000 | ||
性质 | |||
化学式 | C2F6 | ||
摩尔质量 | 138.01 g·mol⁻¹ | ||
外观 | 無色無嗅氣體 | ||
密度 | 5.734 kg.m-3,24 °C | ||
熔点 | -100.6 °C | ||
沸点 | -78.2 °C | ||
溶解性(水) | 0.0015% | ||
log P | 2 | ||
蒸氣壓 | 2.967 MPa,20.1 °C 3.0701 MPa,21 °C | ||
危险性 | |||
NFPA 704 | |||
闪点 | 不易燃 | ||
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
物理性質
编辑六氟乙烷在固相時擁有兩種晶型,不同相變溫度已於科學文獻中列明,最新的文献将相變溫度定於103 K(-170 °C)。在低於103 K的情況下,它會有一個稍微無序的結構,在相变点以上,會形成体心立方晶體結構。[1]
六氟乙烷密度表:
性質,溫度 | 密度 (kg.m-3) |
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液態,-78.2 °C | 1608 |
氣態,-78.2 °C | 8.86 |
氣態,15 °C | 5.84 |
氣態,20.1 °C | 5.716 |
氣態,24 °C | 5.734 |
用途
编辑六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術,常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用於蝕刻矽上的二氧化硅。
環境影響
编辑六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定,可以長時間停留在大氣層中,是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年,全球暖化潛勢是9,200(二氧化碳的係數是1)。它在大氣層的濃度是 3 pptv(在1750年時是 0 pptv[2])。然而,六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。
六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。
安全
编辑參見
编辑參考資料及注釋
编辑註釋
编辑- ^ Dynamics and structure of solid hexafluoroethane
- ^ Climate Change 2001: The Scientific Basis. [2011-06-16]. (原始内容存档于2007-06-15).
一般參考
编辑- Bozin S E; et al. Growth of ionization currents in carbon tetrafluoride and hexafluoroethane. J. Phys. D: Appl. Phys. 1968, 1: 327–334. doi:10.1088/0022-3727/1/3/309.