準分子激光

準分子激光（excimer laser，exciplex laser）是一種紫外氣態激光，處於激發態的惰性氣體和另一種氣體（惰性氣體或鹵素）結合的混合氣體形成的準分子，向其基態躍遷時發射所產生的激光，稱為準分子激光。

準分子激光屬於低能量激光，無熱效應，是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈衝激光，光子能量波長範圍為157－353納米，脈衝時間為幾十納秒，屬於紫外光。最常見的波長有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

術語

準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處於基態，它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處於激發態，它們之間就能夠暫時形成化學鍵。儘管這種化學鍵的壽命往往非常短，只在納秒的量級。準分子可以通過自發輻射或受激輻射，釋放出光子回到基態，基態的分子更加不穩定，經過幾個皮秒的時間，衰變成兩個未成鍵的原子。

歷史

準分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人於1970在莫斯科物理研究所發明。使用電子束激發氙氣二聚體，產生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術中心，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內的多家政府研究機構研究利用電子束激發惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產出第一台商業用準分子激光器。

迄今為止已經發現的能夠產生準分子激光的氣體有10多種。

常見的準分子及其波長

準分子激光的波長取決於所用的氣體，一般處於紫外光波段。

準分子	波長 納米	相對功率 毫瓦
Ar2*	126 nm
Kr2*	146 nm
F2*	157 nm
Xe2*	172 & 175 nm
ArF	193 nm	60
KrF	248 nm	100
XeBr	282 nm
XeCl	308 nm	50
XeF	351 nm	45
KrCl	222 nm	25

應用

• 準分子激光首先被應用在工業上:
  • 美國IBM公司開始使用並且改進準分子激光技術，主要應用在計算機芯片的製造以及塑料物質上蝕刻精確的圖形。
  • 1980年IBM公司應用193nm準分子激光刨光鑽石。
  • 1982年IBM將準分子激光技術應用在半導體光刻工藝中。
  • 1986年AT&T貝爾實驗室研製出第一台準分子激光分步投影光刻機。

目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫學以及科學研究與工業應用方面，如：鑽孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積、物理氣相沉積、磁頭與光學鏡片、硅晶圓的清潔、微機電系統相關的微製造技術等等。

準分子激光於90年代始在醫學上得到運用，主要有：

• 眼科：使用193nm準分子激光進行LASIK手術，矯治屈光不正（近視、遠視、散光）。
  • 1983年，哥倫比亞大學的MD.Stephen Trokel以及IBM的Srinicasan首先提出用激光治療近視的構思，並在動物角膜上開始實驗。
  • 1987年，Trokel等人將IBM公司發明用以切割晶片的準分子激光用於人眼角膜上，應用準確計量的準分子激光直接汽化角膜的部分組織，以達到改變眼角膜曲度的目的。
  • 九十年代初，美國FDA開始準分子激光角膜表面切削術（Photorefractive keratectomy，PRK）的臨床實驗，開始了激光治療近視。
  • 1990年，Dr Pallikaris、Buratto，Galvis和Dr Ruiz結合ALK的技術與先進激光儀結合而發明了準分子激光角膜原位磨鑲術（Laser-Assisted in Situ Keratomileusis，LASIK）。經過幾年的臨床實驗效果跟蹤，1995年10月FDA最終正式批准PRK手術可以治療600度以內的近視，400度以內的散光。
  • 1995至1999年，FDA又相繼批准了1200度以內的近視、600度以內散光和600度以內遠視的LASIK治療。
  • 1993年中華人民共和國衛生部首次批准引進的兩台準分子激光治療儀在北京同仁醫院以及協和醫院應用PRK技術，1995年開始應用LASIK技術。
  • 1996年中華民國通過人體實驗而正式核准使用PRK技術.
  • 1997年意大利Rovigo醫院眼科中心Massino lamellion MD發明準分子激光角膜上皮磨鑲術（laser epithelial keratomileusis，LASEK）
  • 1999年，波前引導激光手術技術（Customized LASIK）被開發；
  • 2001年，美國開始在臨床應用此項技術。
  • 2002年10月，美國食品藥品監督管理局核准了此項技術，第二年5月開始正式普及。

• 皮膚：使用308nm準分子激光治療白癜風、銀屑病和過敏性皮炎。

• 心血管:準分子激光在心血管疾病中主要用於治療冠心病、周圍血管疾病、心臟瓣膜病、先天性心臟病和肥厚性心肌病等。
  • 直接心肌血運重建術(direct myocardial revascularization，DMR)，也稱為經心肌血運重建術（transmyocardial revascularization，TMR）或激光心肌血運重建術（transmyocardial laser revascularization，TMLR），是近年來應用於心臟外科臨床的新技術。
  • 經皮直接心肌血運重建術（percutaneous direct myocardial revascularization，PDMR）是在TMR技術基礎上發展起來的用於心臟內科臨床的一種新型冠心病介入治療技術，是冠心病治療史上的一項新進展。這些都為過去常規內外科治療不能有效的治療的冠心病病人提供了一種新的方法。